臭氧的產(chǎn)生主要有兩種方式：自然產(chǎn)生和人為產(chǎn)生。

自然產(chǎn)生：
臭氧主要存在于大氣平流層中的臭氧層，距地球表面約20公里。臭氧層中的臭氧主要是由太陽(yáng)光中的紫外線(xiàn)照射氧氣（O2）產(chǎn)生的。紫外線(xiàn)將氧分子（O2）分解成兩個(gè)氧原子（O），隨后氧原子與氧分子結合形成臭氧（O3）。
臭氧也會(huì )通過(guò)一些自然過(guò)程如雷電放電產(chǎn)生。
人為產(chǎn)生：
近地面的臭氧主要由氮氧化物（NOx）和揮發(fā)性有機物（VOCs）之間的光化學(xué)反應產(chǎn)生。這些污染物通常來(lái)源于人類(lèi)活動(dòng)，如汽車(chē)尾氣、工業(yè)排放、和燃燒過(guò)程等。在陽(yáng)光照射下，這些污染物發(fā)生光化學(xué)反應，生成臭氧。
此外，在科學(xué)實(shí)驗室、工業(yè)生產(chǎn)中，也會(huì )通過(guò)特定的化學(xué)反應或設備放電（如電暈放電）來(lái)產(chǎn)生臭氧。